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3,光電、超聲波清洗行業
★水質要求: 新興的光電材料生產、加工、超聲波清洗;LCD液晶顯示屏、PDP等離子顯示屏、高品質燈管顯像管、微電子工業、大規模、超大規模集成電路需用大量的高純水、超純水清洗半成品、成品。集成電路的集成度越高,對水質的要求也越高,這也對超純水處理工藝及產品的簡易性、自動化程度、生產的連續性、可持續性等提出了更加嚴格的要求.中國電子工業部電子級水質技術標準(18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm五級標準) ★應用場合: ☆半導體材料、器件、印刷電路板和集成電路; ☆LCD液晶顯示屏、PDP等離子顯示屏; ☆高品質顯像管、螢光粉生產; ☆半導體材料、晶元材料生產、加工、清洗; ☆超純材料和超純化學試劑、超純化工材料; ☆實驗室和中試車間; ☆汽車、家電表面拋光處理; ☆光電產品; ☆其他高科技精微產品;★工藝流程 ☆二級反滲透制備超純水工藝流程 預處理----一級反滲透裝置----中間水箱----二級反滲透裝置----超純水水箱----純水泵----用水點 ☆一級反滲透+混床制備超純水工藝流程 預處理----一級反滲透裝置----中間水箱----中間水泵----精制混床----精密過濾器----超純水水箱----純水泵----用水點 ☆二級反滲透+拋光混床制備超純水工藝流程 預處理----一級反滲透裝置----中間水箱----中間水泵----二級反滲透裝置----拋光混床-----精密過濾器----超純水水箱----純水泵----用水點 ☆二級反滲透制備+EDI制備超純水工藝流程 預處理----一級反滲透裝置----中間水箱----中間水泵----二級反滲透裝置----EDI主機----超純水水箱----純水泵----精密過濾器----用水點
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