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產品展示

電子半導體行業超純水EDI系統







1,電子半導體行業

★水質要求
  微電子工業、集成電路需用大量的高純水、超純水清洗半成品、成品。集成電路的集成度越高,對水質的要求也越高,這也對超純水處理工藝及產品的簡易性、自動化程度、生產的連續性、可持續性等提出了更加嚴格的要求。
  中國電子工業部電子級水質技術標準(18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm五級標準)

★工藝流程
   ☆二級反滲透制備超純水工藝流程    
     預處理(砂濾器、碳濾器、軟化器) →一級反滲透裝置→中間水箱→二級反滲透裝置 →超純水水箱→純水泵→用水點    
   ☆一級反滲透+混床制備超純水工藝流程    
     預處理→一級反滲透裝置→精制混床→精密過濾器→超純水水箱→純水泵→用水點
   ☆二級反滲透+拋光混床制備超純水工藝流程     
     預處理→一級反滲透裝置→中間水箱→二級反滲透裝置→拋光混床→精密過濾器→超純水水箱→純水泵→用水點   
   ☆二級反滲透+EDI+拋光混床制備超純水工藝流程     (電阻率18MΩ.cm) 
     預處理→一級反滲透裝置→中間水箱→二級反滲透裝置→EDI主機→超純水水箱→純水泵→拋光混床→超純水水箱→純水泵→用水點

☆EDI超純水設備技術簡介

昆山市盛泓水處理設備有限公司---EDI設備/EDI超純水/EDI去離子水/EDI高純水設備技術簡介

1. EDI設備/EDI超純水/EDI去離子水/EDI高純水設備的技術特點
電去離子(EDI)技術是一種將電滲析和離子交換有機結合在一起的脫鹽新工藝,英文名稱electrodeionization,縮寫EDI,該工藝過程取電滲析和離子交換兩者之長,彌補對方之短,即利用離子交換深度脫鹽來克服電滲析極化而脫鹽不徹底,又利用電滲析極化而發生水電離產生H+和OH-實現樹脂自再生來克服樹脂失效后通過化學藥劑再生的缺陷。因而EDI技術是一種完美的除鹽工藝。
2. EDI設備/EDI超純水/EDI去離子水/EDI高純水設備技術的先進性
*不需化學再生藥劑,生產過程無任何污染,屬清潔生產;
*不需停機再生,連續生產水質穩定的高純水(15~18MΩ·cm);
*運行穩定可靠,維護簡單、運行費用低;
*占地面積小,節約場地建設費用。
3. EDI設備/EDI超純水/EDI去離子水/EDI高純水設備的主要作用和適用范圍
EDI的作用是精除鹽。在使用RO滲透水脫除97~99%離子的前提下,EDI可直接將反滲透產水提純到純水、高純水、超純水的標準,而無需使用離子交換混床,其產水的電阻率最高可達18MΩ·cm。
EDI設備在對水質要求較高的行業中具有廣泛的應用市場。在電子工業、科研實驗室、檢驗分析行業常用EDI制取18MΩ·cm以上的超純水,在精細化工、發電、電鍍行業常用EDI制取15MΩ·cm以上的高純水,在醫院和制藥行業常用EDI制取5MΩ·cm以上的純化水,在食品飲料行業應用EDI制取0.5MΩ·cm以上的初純水等。
4. EDI設備/EDI超純水/EDI去離子水/EDI高純水設備的工作原理
EDI電去離子膜堆同時進行以下三個主要過程:
1)在純水室中, 陰、陽混合離子交換樹脂上的OH- 和H+離子對水中電解質離子的離子交換過程;
2)在外電場作用下,純水室水中電解質離子通過離子交換膜被遷移到濃水室的電滲析過程;
3)電滲析的極化及交換樹脂本身的水解作用所產生的H+和OH-對交換樹脂的再生過程。這三個過程同時發生,相互促進,從而實現了EDI連續不斷地生產高電阻率的超純水的目標。


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